Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Electron beam lithography — (often abbreviated as e beam lithography) is the practice of scanning a beam of electrons in a patterned fashion across a surface covered with a film (called the resist),cite book |last= McCord |first=M. A. |coauthors=M. J. Rooks |title=… … Wikipedia
Rasterscan-Anlage — elektronpluoštis rastrinis litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography equipment vok. Rasterscan Anlage, f rus. установка растровой электронно лучевой литографии, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
elektronpluoštis rastrinis litografijos įrenginys — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography equipment vok. Rasterscan Anlage, f rus. установка растровой электронно лучевой литографии, f pranc. équipement de lithographie à faisceau d électrons… … Radioelektronikos terminų žodynas
équipement de lithographie à faisceau d'électrons avec balayage de trame — elektronpluoštis rastrinis litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography equipment vok. Rasterscan Anlage, f rus. установка растровой электронно лучевой литографии, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
установка растровой электронно-лучевой литографии — elektronpluoštis rastrinis litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography equipment vok. Rasterscan Anlage, f rus. установка растровой электронно лучевой литографии, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
Photolithography — For earlier uses of photolithography in printing, see Lithography. For the same process applied to metal, see Photochemical machining. Photolithography (or optical lithography ) is a process used in microfabrication to selectively remove parts of … Wikipedia
